Spektroskopie

Hohe Empfindlichkeit
Das SolidSpec 3700/ 3700DUV wurde für Messungen mit höchster Empfindlichkeit entwickelt. Es ist das erste UV-VIS-NIR Spektrophotometer mit drei Detektoren: einem Photomultiplier-(PMT) Detektor im ultravioleten und sichtbaren Bereich sowie zusätzlich einen InGaAs- und einen PbS-Detektor für den Bereich des nahen Infrarot. Der Einsatz der InGaAs- and PbS-Detektoren erhöht die Empfindlichkeit im Bereich des nahen Infrarot extrem.

Großer Wellenlängenbereich
Das SolidSpec-3700DUV besitzt die Fähigkeit, im tiefen Ultraviolett bis hinunter zu 165 nm in Transmission (Sonderausstattung) zu messen oder bis zu 175 nm mit einer Integrationskugel, wobei die Optik wie auch der gesamte Probenraum mit gasförmigem Stickstoff gespült wird. Das gesamte Gerät wird aus Materialien hergestellt, welche nur eine sehr geringe Absorption von UV-Licht bis 165nm zeigen. Somit erschließt sich ein Meßbereich von 3300 nm bis 165 nm.

Großer Probenraum
Ein großer Probenaufnahmeraum (900 x 700 x 350 mm (b x t x h)) erlaubt es, auch große Proben zerstörungsfrei zu analysieren - und zwar in horizontaler Lage aufgrund des vertikalen Strahlungsganges. Bei Nutzung des automatischen X-Y-Tisches (Sonderausstattung) wird die gesamte Fläche für Proben wie zum Beispiel 300mm-Waver aus der Halbleiterindustrie messbar.