TOC-1000e S - Features
On-Line TOC Analyzer für Reinstwasser
Maximale Empfindlichkeit für schwer oxidierbare Verbindungen
Starke Oxidationsleistung für die präzise Bestimmung von Harnstoff und mehr
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In der Halbleiterfertigung ist die Qualität des hochreinen Wassers entscheidend für stabile Prozesse und zuverlässige Ergebnisse. Dabei müssen selbst kleinste Verunreinigungen während der Aufbereitung konsequent entfernt werden. Eine besondere Herausforderung stellt Harnstoff dar: Er ist schwer oxidierbar, kann aber bereits in geringsten Spuren Ammoniakgas bilden und so die Bearbeitung von Halbleitermaterialien beeinträchtigen. Herkömmliche Online-TOC-Analysatoren stoßen hier oft an ihre Grenzen. Der TOC-1000e S von Shimadzu setzt mit der Excimer-Lampe und der „Active-Path“-Konfiguration auf eine leistungsstarke Lösung, die hochenergetisches kurzwelliges Licht nutzt, um Harnstoff und andere schwer oxidierbare organische Verbindungen besonders empfindlich nachzuweisen. Die quecksilberfreie Lampentechnologie reduziert zudem den Wartungsaufwand, ermöglicht Wartungsintervalle von bis zu 12 Monaten und unterstützt einen reibungslosen Betrieb durch Wartung und Neukalibrierung direkt vor Ort.
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Schnelle Reaktion bei Kontaminationsvorfällen
Erkennt Verunreinigungen zuverlässig und frühzeitig
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Interner Aufbau und Messprinzip
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Das frühzeitige Erkennen von Verunreinigungen in Reinstwasser hilft, Defekte in Halbleitermaterialien zu vermeiden und eine gleichbleibend hohe Produktionsqualität sicherzustellen. Der TOC-1000e S ist mit einer einfachen Messleitung und optimierten internen Durchflussraten ausgestattet, wodurch die Verweildauer der Probe im Gerät deutlich reduziert wird. So gelangt frisches Probenwasser schnell zum Detektor und Verunreinigungen können mit minimaler Verzögerung erkannt werden. Anders als Systeme, die sich vor allem auf kurze Messintervalle konzentrieren, ist der TOC-1000e S darauf ausgelegt, stets möglichst aktuelle Messergebnisse bereitzustellen. Das ermöglicht Anwender*innen eine schnelle Reaktion auf Veränderungen der Wasserqualität.
Kompakt und mobil für die Überwachung wichtiger Kontrollpunkte
Leicht, platzsparend und schnell installiert
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Der TOC-1000e S kombiniert ein kompaktes Design mit einem Gewicht von nur 3 kg und bietet damit maximale Flexibilität für die kontinuierliche Online-Überwachung der Wasserqualität. Dank seiner hohen Mobilität lässt sich das Gerät bei Verunreinigungen schnell zwischen wichtigen Kontrollpunkten in der Anlage einsetzen, sodass sich die Ursache effizient eingrenzen und zurückverfolgen lässt. Ob auf dem Schreibtisch, per Wand- oder Rohrmontage mit optionalem Halterungsset – der TOC-1000e S passt sich flexibel an unterschiedliche Einbausituationen an. Auch die einfache Kalibrierung vor Ort mit optionalem Probenvial unterstützt einen komfortablen Betrieb, ohne Kompromisse bei der Leistung.
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Möchten Sie mehr über den TOC-1000e S erfahren? Wir beraten Sie gern. Melden Sie sich hier für weitere Spezifikationen oder ein unverbindliches Angebot.
