SolidSpec-3700i/3700iDUV - Anwendungen

UV-VIS-NIR Spectrophotometer

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Vergleich von 2-Detektor- und 3-Detektor-Modellen

Neben der Photomultiplierröhre (PMT) und gekühlten PbS-Detektoren kommt neu ein InGaAs-Detektor zum Einsatz.
Dies führt zu weniger Rauschen als beim Zwei-Detektor-Modell (PMT und PbS), insbesondere in dem vom InGaAs-Detektor erfassten Bereich (900 bis 1600 nm).

Comparison of 2-Detector and 3-Detector Models

Hochpräzise Messungen mit minimierten Diskontinuitäten und Detektorwechselrauschen

Rauschen und Diskontinuitäten, die durch die Detektorumschaltung verursacht werden, werden minimiert, um eine hochgenaue Messung zu gewährleisten.

Noise and bump caused by detector switchover are minimized

Die Transmissionsspektren eines Farbfilters und einer Polyesterfolie sind in der linken bzw. rechten Abbildung dargestellt.
Die Spektren zeigen bei den Detektorumschaltwellenlängen von 870 nm und 1650 nm weder Rauschen noch Diskontinuitäten.

Ulbricht-Kugel für die Messung im tiefen UV

Integrating Sphere for Deep Ultraviolet Measurement

Selbst für Wellenlängen nahe 190 nm, die mit normalen Spektrophotometern nur schwer genau messbar sind, können Spektren mit geringem Rauschen erhalten werden. Die Möglichkeit, Spektren in diesem Wellenlängenbereich zu messen, ist besonders hilfreich bei der Messung von Halbleitermaterialien, die für ArF-Excimerlaser verwendet werden.

Die 100 %-Basislinienspektren, gemessen am SolidSpec-3700i DUV mit einer Ulbricht-Kugel für den tiefen UV-Bereich und am SolidSpec-3700i mit einer normalen Ulbricht-Kugel, sind in der linken Abbildung gezeigt.

Anwendungsbeispiele im tiefen UV-Bereich

Application for Deep Ultraviolet Region

Um hochgenaue Messungen im tiefen UV-Bereich durchführen zu können, sind eine hohe Lichtintensität und ein möglichst geringes Streulicht erforderlich. Das Transmissionsspektrum einer Silikatplatte, gemessen mit der Direct Detection Unit DDU-DUV (Option), ist in der linken Abbildung dargestellt. Im UV-Bereich lassen sich somit Spektren mit sehr geringem Rauschniveau erreichen.