SolidSpec-3700i/3700iDUV - Features
UV-VIS-NIR Spectrophotometer
Höchste Empfindlichkeit
Detektoren und ihre Wellenlängenbereiche
Im Bereich von 700 nm bis 1000 nm kann vom Photomultiplier auf den InGaAs-Detektor umgeschaltet werden (die Standardschaltwellenlänge beträgt 870 nm). Der InGaAs-Detektor kann im Bereich von 1600 nm bis 1800 nm auf einen PbS-Detektor umgestellt werden (die Standardschaltwellenlänge beträgt 1650 nm).
Bei der Messung optischer Komponenten ist eine hochgenaue Bestimmung des Transmissions- und Reflexionsgrads erforderlich. Das SolidSpec-3700i/3700i DUV verfügt deshalb über drei Detektoren, die den Bereich von UV bis Nahinfrarot abdecken. Dabei wird die Empfindlichkeit im Nahinfrarotbereich durch die kombinierte Verwendung von InGaAs- und gekühlten PbS-Detektoren deutlich verbessert.
Herkömmliche Spektrophotometer verwenden einen Photomultiplier für den ultravioletten und sichtbaren Bereich sowie einen PbS-Detektor für den nahen Infrarotbereich. In der Nähe der Detektorumschaltung weist jedoch keiner der Detektoren eine hohe Empfindlichkeit auf, was eine Messung mit hoher Empfindlichkeit in diesem Bereich erschwert. Mit dem SolidSpec-3700i/3700i DUV können hochempfindliche Messungen selbst im Umschaltbereich durchgeführt werden, indem ein InGaAs-Detektor zur Überbrückung verwendet wird, wie in der Abbildung links dargestellt.
Großer Messwellenlängenbereich (SolidSpec-3700i DUV)
Um eine präzise Laserbearbeitung mit einem Ultraviolettlaser wie zum Beispiel einem ArF-Excimerlaser zu ermöglichen, benötigt man optische Komponenten, die auch höchsten Anforderungen an Transmissions- oder Reflexionsmessungen im tiefen UV-Bereich gerecht zu werden. Das SolidSpec-3700i DUV(Anmerkung 1) ermöglicht Messungen im Bereich von 175 nm bis 2600 nm(Anmerkung 2) mit einer Ulbricht-Kugel und einem Bereich von 165 nm bis 3300 nm(Anmerkung 3) bei Verwendung der optionalen Direct Detection Unit DDU DUV. Mit dieser Zusatzeinheit ist der volle Wellenlängenbereich vom tiefen UV bis zum Nahinfrarot messbar.
Sauerstoffmoleküle in der Atmosphäre absorbieren ultraviolettes Licht unter 190 nm. Zur Entfernung der störenden Sauerstoffmoleküle ist eine Stickstoffgasspülung nicht nur im Probenraum sondern auch für den gesamten optischen Strahlengang erforderlich. Da das SolidSpec-3700i DUV über Gaseinlässe für jeden messrelevanten Teil des Spektrometer verfügt, ist eine effiziente und zeitsparende Gasspülung möglich. Durch Spülung mit Stickstoff wird eine hohe Empfindlichkeit mit geringem Streulicht im tiefen UV-Bereich ermöglicht.
Als Fenstermaterial für den Detektor und als Beschichtung für die Innenseite der Ulbricht-Kugel müssen Materialien verwendet werden, die kein tiefes Ultraviolettlicht absorbieren, um eine hohe Leistung im tiefen UV-Bereich zu garantieren. Das SolidSpec-3700i DUV verwendet einen PMT-Detektor mit Quarzglas als Fenstermaterial und eine Ulbricht-Kugel, dessen Innenraum mit einem stark UV-reflektierenden Harz beschichtet ist.
Hinweis 1) Um den Bereich unter 190 nm mit dem SolidSpec-3700i DUV zu messen, ist eine Stickstoffgasspülung erforderlich, um Störungen durch Sauerstoffmoleküle im SolidSpec-3700i DUV zu beseitigen.
Hinweis2) Der messbare Bereich für SolidSpec-3700i beträgt 240 nm bis 2600 nm.
Hinweis 3) Der messbare Bereich für SolidSpec-3700i mit der optionalen Direct Detection Unit beträgt 190 nm bis 3300 nm.
Der große Probenraum bietet Platz für eine große Vielfalt an Proben.
Das SolidSpec-3700i und das 3700i DUV verfügen über große Probenräume, die die Messung großer intakter Proben ermöglichen, ohne die Probe vorher zu zerkleinern. Ihre Innenmaße betragen 900 B × 700 T × 350 H mm. Im Probenraum kann eine maximale Probengröße von 700 B × 560 T × 40 H mm verwendet werden und durch Montage des automatischen XY-Tisches (Option) ist ein gesamter Probenbereich von 12 Zoll oder 310 × 310 mm messbar. Der vertikale Strahlengang ermöglicht die Durchführung von Transmissions- und Reflexionsmessungen großer Proben.
Großer Probenraum
Eine im Probenraum positionierte Probe mit Maßen von 700 W × 560 T mm.
Dreidimensionaler optischer Pfad
Der dreidimensionale Strahlengang ermöglicht die zerstörungsfreie Messung großer Proben, ohne diese verkleinern zu müssen. Im optischen Pfad früherer Modelle breitete sich das Licht nur horizontal aus. Die neuen Modelle verfügen jedoch über einen dreidimensionalen optischen Pfad (US-Patent 6583872), bei dem sich das Licht auch in vertikaler Richtung ausbreitet. Proben können horizontal platziert werden, was die Messung großer Proben erleichtert.
Eine große Auswahl an Zubehör, wie Aufsätze für absolute Spiegelreflexion und relative Spiegelreflexion, die für das SolidSpec-3700i/3700i DUV entwickelt wurden erweitern das Anwendungsspektrum. Mit dem optionalen automatischen XY-Tisch können automatische Messungen durchgeführt werden, indem die Intervalle und Rotationswinkel für die Probe vorgegeben werden.
Automatische Messung
Automatischer XY-Tisch (Option)
Der für das SolidSpec-3700i/3700i DUV entwickelte automatische XY-Tisch ermöglicht automatische Messungen für die im Voraus festgelegten Punkte unter Beibehaltung der Stickstoffgasspülung.
Direkte Messung von flüssigen und festen Proben ohne Ulbricht-Kugel
Direct Detection Unit (Option)
Das SolidSpec-3700i/3700i DUV verwendet standardmäßig eine Ulbricht-Kugel zur Detektion. Einige Proben erfordern jedoch eine Messung ohne Verwendung einer Ulbricht-Kugel. Für genau solche Fälle wurde die Direct Detection Unit geschaffen. Durch die Montage der Direct Detection Unit (DDU-DUV) im SolidSpec-3700i DUV sind Messungen bis zu 165 nm(Anmerkung) möglich. Messungen mit der Direct Detection Unit können einfach durch Umstellen eines Spiegels durchgeführt werden.
Hinweis) Um mit dem SolidSpec-3700i DUV Messungen unter 190 nm durchzuführen, ist eine Stickstoffgasspülung erforderlich, um störende Sauerstoffmoleküle im Inneren des SolidSpec-3700i DUV zu entfernen. Der messbare Bereich für das SolidSpec-3700i mit der optionalen Direct Detection Unit beträgt 190 nm bis 3300 nm.